HFCVD化学气相沉积金刚石，原理为:将含碳气氛与过饱和的氢气混合，经过某种方式活化后通在一定的气氛组成、 活化能量、衬底温度以及衬底与活化源之间的距离等条件下，在底表面沉积金刚石薄膜。一般认为， 金刚石膜的形核与生长可以分为三个阶段：(1...

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